Diseño y Construcción de una Sonda de Langmuir para Caracterizar un Plasma Débilmente Ionizado en un Reactor de Depósito Físico de Vapores

Hdl Handle:
http://hdl.handle.net/11285/572429
Title:
Diseño y Construcción de una Sonda de Langmuir para Caracterizar un Plasma Débilmente Ionizado en un Reactor de Depósito Físico de Vapores
Authors:
Rodríguez Peña, Nadia L.
Issue Date:
01/06/2005
Abstract:
Con el propósito de caracterizar un plasma débilmente ionizado, de corriente directa, en una instalación para el depósito físico de vapores, se diseñó y construyó una sonda de Langmuir. Con base en un diseño experimental, por medio de la sonda de Langmuir, se midió la densidad iónica y la temperatura electrónica en distintas posiciones del reactor, las cuales se referenciaron desde el centro del magnetrón hasta la periferia, y desde una altura de 1.5 cm hasta 2.0 cm, para valores de potencia de: 8 W y 30 W y para presiones de: 0.5 Pa y 3.0 Pa en un plasma de Argón. El dominio de variación de las temperaturas electrónicas fue de 6.19 eV a 3.49 eV y la densidad iónica fue de 59.15 a 38.04 mA. cm2 Con base en el código de pulverización de un blanco, SRIM, se asoció al efecto de las variables del plasma con la pulverización del blanco. Se presenta la variación cualitativa de estas variables, en ese contexto se observa una tendencia en donde la pulverización aumenta a medida que aumenta la energía iónica.
Keywords:
Sonda de Langmuir; Reactores; Química; Sondas; Plasma
Degree Program:
Maestría en Ciencias en Sistemas de Manufactura
Advisors:
Dr. Joaquín Sebastián Oseguera Peña
Committee Member / Sinodal:
Dra. Olimpia Salas Martínez
Degree Level:
Maestro en Ciencias en Sistemas de Manufactura
Campus Program:
Campus Ciudad de México
Discipline:
Ingeniería y Ciencias Aplicadas / Engineering & Applied Sciences
Appears in Collections:
Ciencias Exactas

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DC FieldValue Language
dc.contributor.advisorDr. Joaquín Sebastián Oseguera Peñaes
dc.contributor.authorRodríguez Peña, Nadia L.en
dc.date.accessioned2015-08-17T11:28:35Zen
dc.date.available2015-08-17T11:28:35Zen
dc.date.issued01/06/2005-
dc.identifier.urihttp://hdl.handle.net/11285/572429en
dc.description.abstractCon el propósito de caracterizar un plasma débilmente ionizado, de corriente directa, en una instalación para el depósito físico de vapores, se diseñó y construyó una sonda de Langmuir. Con base en un diseño experimental, por medio de la sonda de Langmuir, se midió la densidad iónica y la temperatura electrónica en distintas posiciones del reactor, las cuales se referenciaron desde el centro del magnetrón hasta la periferia, y desde una altura de 1.5 cm hasta 2.0 cm, para valores de potencia de: 8 W y 30 W y para presiones de: 0.5 Pa y 3.0 Pa en un plasma de Argón. El dominio de variación de las temperaturas electrónicas fue de 6.19 eV a 3.49 eV y la densidad iónica fue de 59.15 a 38.04 mA. cm2 Con base en el código de pulverización de un blanco, SRIM, se asoció al efecto de las variables del plasma con la pulverización del blanco. Se presenta la variación cualitativa de estas variables, en ese contexto se observa una tendencia en donde la pulverización aumenta a medida que aumenta la energía iónica.es
dc.language.isoes-
dc.rightsOpen Accessen
dc.rights.urihttp://creativecommons.org/licenses/by-nc-nd/4.0/*
dc.titleDiseño y Construcción de una Sonda de Langmuir para Caracterizar un Plasma Débilmente Ionizado en un Reactor de Depósito Físico de Vaporeses
dc.typeTesis de Maestríaes
thesis.degree.grantorInstituto Tecnológico y de Estudios Superiores de Monterreyes
thesis.degree.levelMaestro en Ciencias en Sistemas de Manufacturaes
dc.contributor.committeememberDra. Olimpia Salas Martínezes
thesis.degree.nameMaestría en Ciencias en Sistemas de Manufacturaes
dc.subject.keywordSonda de Langmuires
dc.subject.keywordReactoreses
dc.subject.keywordQuímicaes
dc.subject.keywordSondases
dc.subject.keywordPlasmaes
thesis.degree.programCampus Ciudad de Méxicoes
dc.subject.disciplineIngeniería y Ciencias Aplicadas / Engineering & Applied Sciencesen
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